在柔性衬底上的非晶硅薄膜制备任务书

 2021-10-12 10:10

1. 毕业设计（论文）的内容和要求

推崇低碳经济和绿色能源已经使得光伏电池已经成为一个庞大的产业。目前市场上的太阳能电池基本上都是刚性基板的。相比而言，制作于柔性衬底上（比如不锈钢超薄片）的非晶硅太阳能电池具有重量轻，可折叠，携带方便等优点。另外，它可使用卷对卷（roll-to-roll）生产工艺，从而有效提高生产效率，降低生产成本。本课题尝试在柔性不锈钢衬底上制备非晶硅薄膜，掌握其制备工艺，对非晶硅薄膜的沉积工艺进行优化。这样的研究会对后期制备高效率的柔性非晶硅光伏电池十分关键。制备非晶硅薄膜的方法为等离子增强的化学气相沉积（PECVD）,以SiH4和H2为反应气体。本课题的核心工作是熟悉PECVD设备，掌握其操作，深刻理解各工艺参数对于非晶硅成膜的影响。

论文工作的主要要求如下：

（1） 了解非晶硅柔性太阳能电池的研究进程；

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2. 参考文献

[1] Baojie Yan, Guozhen Yue, Laura Sivec, Jeffrey Yang, Subhendu Guha, and Chun-Sheng Jiang Appl. Phys. Lett. 99, 113512 (2011)

[2] Adrian Chiril, Stephan Buecheler , Fabian Pianezzi , and et al, Nature Materials DOI:10.1038/NMAT3122

[3] Martin A. Green, Keith Emery, Yoshihiro Hishikawa, Wilhelm Warta and Ewan D. Dunlop Solar cell efficiency tables (version 39)

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