全文总字数：2752字
1. 毕业设计（论文）主要内容：
PZT压电陶瓷是一类重要的功能材料，具有优异的压电、介电和光电等电学性能。但块体PZT陶瓷材料的高工作电压（大于0.5kV）限制了其在微电子或者低压集成系统中的发展应用。而20世纪90年代发展起来的PZT压电厚膜技术，兼顾了块体和薄膜的优点，工作/驱动电压低，使用频率范围宽，与半导体集成电路兼容，使得PZT厚膜与其薄膜相比具有更大的驱动力，更好的压电性能。目前，PZT压电厚膜材料已被广泛地应用于制造微型机械泵、厚膜微致动器、高频声纳换能器、压力传感器、微机械谐振器、压电加速度转换器、新型超声复合换能器、弹性波传感器、光纤调制器、压电多层致动器、微电子机械系统(MEMS)器件等。厚膜的制备技术主要有丝网印刷技术、溶胶-凝胶(Sol-Gel)法、电泳沉积法、脉冲激光沉积法及流延法等。采用流延技术制备压电多层膜元件，使用丝网印刷工艺制作Ag/Pd 内电极，显著降低器件的工作电压，实现器件大位移驱动的目的。本课题以PZT陶瓷粉体为原材料，提高材料设计、结构分析、性能优化及表征的方式，探索流延法制备压电厚膜的可行性，为制备高性能多层结构压电位移器用的压电陶瓷堆提供技术支撑。
设计（论文）主要内容:
1．文献调研，了解国内外PZT厚膜的研究概况和发展趋势；厚膜技术可以降低材料用量，降低成本，使用原材料均为环境友好，具有较好的社会发展可持续性。
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
1. 查阅不少于15篇相关文献资料，其中近5年英文文献不少于3篇，了解国内外相关研究概况和发展趋势，了解选题对社会、健康、安全、成本以及环境等的影响，完成开题报告；
2. 完成不少于5000字的英文文献翻译；
3. 掌握PZT压电厚膜的基本制备方法；
3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
第1－3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告。
第4－9周：按照设计方案，制备PZT流延浆料及厚膜。
第10－15周：用XRD、SEM、P-E铁电工作站，阻抗分析仪，d33测试仪等测试技术对材料的相结构、形貌及电学性能进行表征；
4. 主要参考文献
[1] Woo, Min Sik;Ahn,Jung Hwan;Eom,Jong Hyuk; Study on increasing outputcurrent ofpiezoelectricenergy harvester by fabrication ofmultilayerthickfilm, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 269:524-534(2018).
[2] Premkumar, S.;Shinde,S. D.;Varadarajan, E.; Improved ferroelectricandpiezoelectricproperties oftapecasted free standingPSLZTthickfilms, MATERIALS RESEARCH EXPRESS,6:026303(2019).
[3] Jeong, Young Hun;Kim,Kyoung Bum;Lee, Young-Jin; FerroelectricandPiezoelectricProperties of 0.72Pb(Zr0.47Ti0.53)O3-0.28Pb[(Zn0.45Ni0.55)1/3Nb2/3]O3ThickFilmsfor Energy Harvesting Device Application,JAPANESE JOURNAL OF APPLIEDPHYSICS,51:09MD04(2012).
