1. 毕业设计（论文）主要内容：
铁电薄膜材料以其具有的一系列独特性质，例如高介电性、热释电性、压电性、电光性能、非线性光学等，在微电子学、光电子学、光子学、集成铁电学等高新技术领域中，具有广阔的发展前景。特别是在制备铁电动态随机存储器、薄膜型室温红外探测器、薄膜电容器等方面，铁电薄膜已成为首选材料。本课题拟以Si/SiO2为基底，通过磁控溅射法制备PZT铁电薄膜，结合XRD、SEM、AFM、XPS等表征手段，探究不同的制备条件对PZT铁电薄膜的影响，获得磁控溅射法制备PZT铁电薄膜的优化工艺。
设计（论文）主要内容：
1. 文献调研，了解国内外相关研究概况和发展趋势；
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
1. 查阅不少于15篇的参考文献（其中近5年英文文献不少于3篇），完成开题报告；
2. 掌握PZT陶瓷靶材的制备方法；
3. 掌握PZT铁电薄膜材料的制备方法，以及结构与性能的表征方法；
3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
第1 ~ 3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告；
第4 ~ 10周：制备PZT陶瓷靶材以及PZT铁电薄膜；
第11 ~ 12周：采用XRD、FE-SEM、AFM、XPS等测试技术对铁电薄膜材料的物相、显微结构进行表征，并对薄膜的电学性能进行测试；
4. 主要参考文献
[1] M.G. Han, M.S.J. Marshall, L. Wu, et al.Interface-induced nonswitchable domains in ferroelectric thin films [J]. NatureCommunications, 2014, 5: 4693.
[2] B. He, Z. Wang. Enhancement of the electricalproperties in BaTiO3/PbZr0.52Ti0.48O3 ferroelectric superlattices [J]. ACS Applied Materials Interfaces, 2016,8: 6736-6742.
[3] M. Dawber, K.M. Rabe, J.F. Scott. Physicsof thin-film ferroelectric oxides [J]. Reviews Moddern Physics, 2005,77: 1083.
