氮化镓单晶材料的制备及性能表征任务书

 2021-09-23 12:09

1. 毕业设计(论文)主要内容:

氮化镓(GaN)是第三代半导体的代表材料,因其禁带宽度大、电子漂移饱和速度高、介电常数小、导电性能好的特点,适用于制造抗辐射、高频、大功率、高密度集成的电子器件。采用同质外延生长可以获得结晶质量优异的单晶材料。本论文将采用两种不同的同质外延工艺GaN单晶材料,并对其晶体结构和电学性能进行表征。

设计(论文)主要内容

1.文献调研,了解国内外相关研究概况和发展趋势,了解选题与社会、健康、安全、成本以及环境等因素的关系。

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2. 毕业设计(论文)主要任务及要求

1.查阅不少于15篇相关文献资料,其中近5年英文文献不少于3篇,了解国内外相关研究概况和发展趋势,了解选题对社会、健康、安全、成本以及环境等的影响,完成开题报告;

2.完成不少于5000字的英文文献翻译;

3. 合成与制备的研究。采用两种同质外延工艺制备GaN单晶材料,对晶体的表面形貌及结构进行表征;

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3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排

第1-3周:查阅相关文献资料,完成英文翻译。明确研究内容,了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案,并完成开题报告。

第4-8周:按照设计方案,进行GaN单晶材料的制备。

第8-12周:对样品进行结构和性能的表征。

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4. 主要参考文献

[1]J.F. Wang, X.J. Hu, Y.M. Zhang, Y. Xu, H.B. Wang, B.S. Zhang, K. Xu [1], H. Yang:layers with in-situ optical monitoring[J].Journal of Crystal Growth,2009,311:3033-3036.

[2]J.K. Hite, T.J. Anderson, L.E. Lunet, J.C. Gallagher, M.A. Mastro, J.A. Freitas,C.R. Eddy Jr.: Influence of HVPE Substrates on Homoepitaxy of GaN Grown by MOCVD[J].Journal of Crystal Growth,2018,498:352-356.

[3]J.A.Freitas Jr, J.C.Culbertson, E.R.Glaser, E.Richter, M.Weyers, A.C.Oliveira, V.K.Garg: Journal of Crystal Growth[J]. HomoepitaxialHVPEGaN: A potential substrate for high performance devices, 2018, 500:111-116.

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