基于嵌入式单片机的四探针电阻测量技术任务书

 2022-09-24 09:09

1. 毕业设计(论文)的内容、要求、设计方案、规划等

薄膜的电阻率是薄膜材料的一个重要的物理特性,在半导体技术飞速发展的今天,许多新器件不断的研制出来,薄层方块电阻Rs的大小是衡量薄层导体导电能力的一个主要参数。

它可以反映半导体外延层晶格完整性的情况,也可以反映扩散层杂质总量的多少以及导电层的质量。

因此,在半导体器件和集成电路制造中,常常需要知道薄层方块电阻的大小,电子器件的很多重要因素也都与薄层电阻有关,因此需要可靠的测量仪器来研究器件的性能。

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2. 参考文献(不低于12篇)

[1] Texas Instruments MSP430F42XX Users Guide,2004

[2] 梁恩主, Protel 99 SE电路设计与仿真应用..北京.清华大学出版社

[3] 谭浩强, C程序设计.北京.清华大学出版社

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