高性能MEMS智能压力传感器系统的研制任务书

 2021-08-20 01:08

1. 毕业设计(论文)主要目标:

(1)设计压阻式压力传感器结构;(2)压力传感芯片制作与封装;(3)设计恒温加热装置;(4)设计信号采集模块;(5)设计微处理器电路;(6)设计通信电路;(7)设计恒温加热电路;(8)静压头模型设计与仿真;(9)芯片恒温控制效果实验;(10)测量恒温系统下不同环境温度的压力输出并进行误差分析;(11)带有静压头的恒温装置补偿效果实验。

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2. 毕业设计(论文)主要内容:

本设计研究一种带有恒温控制功能以及静压效果的高性能MEMS智能压力传感器系统,该系统以s5pv210微处理器作为信号采集与数据处理的硬件核心部件,选用AD7794模块进行模数转换,使用PT1000测量MEMS压力芯片的温度,微处理器将目标温度与用作温度反馈的铂电阻进行比较。引入PID算法来改变PWM的占空比,从而控制加热片的加热功率,使传感器芯片保持在恒温状态,实现温度补偿。同时设计的一个静压头结构实现风速补偿,从而提高压力传感器测量性能。

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3. 主要参考文献

[1] 刘亚伟. MEMS压力传感器的结构分析和温漂补偿系统设计研究[D].合肥工业大学,2018.

[2] 盛文军.压力传感器发展现状综述[J].科技经济导刊,2018,26(18):54 56.

[3] 李阳,曹民,胡秀娟.高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真[J].数据通信,2018(01):28-30 33.

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