1. 毕业设计（论文）主要内容：
液氨用途广泛，可作医药和农药原料、有机化工产品的氨化原料以及降温制冷剂。但液氨存储不当可能会导致氨气泄漏。因此，对氨气浓度的检测是很有必要的。
ZnO是一种常见的直接带隙宽禁带n型半导体氧化物，其制备工艺简单、原料丰富、无毒无害，并有着优越的光电性能，是最具发展前景的金属氧化物半导体气敏材料之一。以其为材料做成的薄膜器件对氨气存在一定的响应。但响应与薄膜的成膜质量有关，而成膜质量和退火有关。
本课题致力于探究退火对ZnO薄膜气敏特性的影响，并找出最佳的退火参数。
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
1.设计（论文）完成的主要任务：
（1）阅读文献，掌握ZnO的气敏机理，并了解退火对ZnO薄膜气敏特性的影响机理；
（2）利用磁控溅射镀膜机，镀出氧化锌薄膜，并且用不同的退火参数对这些薄膜进行退火处理；
3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
第1-3周：查阅相关文献资料，完成英文文献翻译，明确研究内容，掌握ZnO的气敏机理，并了解退火对ZnO薄膜气敏影响机理，完成开题报告。
第4-7周：利用磁控溅射镀膜机，镀出氧化锌薄膜，并且用不同的退火参数对这些薄膜进行退火处理；
第8-13周：对氧化锌薄膜进行气敏检测，从中找出气敏特性最好的薄膜，并得到最合适的退火参数。
4. 主要参考文献
[1] Wang C，YinL，Zhang L，etal. Metal Oxide Gas Sensors: Sensitivity and Influencing Factors[J]. Sensors，2010，10(3)：2088-2106.
[2] Wang T，Sun Z，Huang D，et al. Studies on NH3 gas sensing by zincoxide nanowire-reduced graphene oxide nanocomposites[J]. Sensors Actuators: B. Chemical，2017，252：284-294.
[3]张召涛,杨晓红,马勇.退火处理对Ti-WO_3薄膜的结构和气敏特性的影响[J].传感器与微系统,2008(08):39-41.
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