应用于太阳能电池的铝掺杂氧化锌薄膜制备及其性能研究任务书

 2021-08-20 00:30:02

1. 毕业设计(论文)主要目标:

(1)制备出具有低电阻率和高透明度的铝掺杂ZnO晶体薄膜;

(2)阐明ZnO薄膜的光电性能与铝掺杂浓度之间依赖关系;

(3)完成符合规范要求的本科毕业论文一篇。

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2. 毕业设计(论文)主要内容:

(1)根据课题的研究内容,查询、阅读相关文献资料30篇以上,归纳总结相关知识点,了解课题研究的最新进展;

(2)通过文献调研,掌握ZnO薄膜的电子束蒸发制备程序,了解生长温度、沉积气压、工作电流、衬底种类等对ZnO薄膜的结构与光学、电学性质的影响,为制备ZnO薄膜奠定基础;

(3)采用电子束蒸发制备Al掺杂的ZnO透明导电薄膜,通过调控掺杂浓度制备出具有低电阻率和高透明度的薄膜样品;

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3. 主要参考文献

温晓莉, 陈长乐, 陈钊, 韩立安, 高国棉. ZnO基半导体薄膜材料的研究进展. 材料导报,2007, 21:41-49。

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