1. 1. 毕业设计（论文）的内容、要求、设计方案、规划等
主要研究内容是：传统的抛光液用稀土材料通过共沉淀法、煅烧、粉碎等工艺制备，产品沉淀后难过滤，煅烧易结块，最终产品粒径大，本项目通过考查共沉淀工艺，改善难过滤、易结块与粒径大等问题；
要求：获取合适的表面活性剂，调整共沉淀工艺，改善难过滤与易结块，原始粒径大等问题。2. 参考文献（不低于12篇）
［１］Ｓｃｈｕｌｅｒ Ｊ．ＣＭＰ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ａｎｄ ｍａｒｋｅｔｓ［Ｃ］／／ＳＥＭＩＣＯＮ Ｃｈｉｎａ ９９，Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ，Ｂｅｉｊｉｎｇ，１９９９：１７－１８．
［２］Ａｌｉ Ｉ，Ｒｏｙ Ｓ Ｒ，Ｓｈｉｎｎ Ｇ．Ｃｈｅｍｉｃａｌ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ ｏｆ ｉｎｔｅｒｌａｙｅｒ ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ：ａ ｒｅｖｉｅｗ［Ｊ］．Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１９９４，３４：６３－７０．
［３］刘玉岭，牛新环，檀柏梅，等．固体表面高精密平面化技
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