全文总字数：370字
1. 毕业设计（论文）的内容和要求
格栅式MEMS气体微流量传感器的封装测试课题工作量要求： 完成三种微流量传感芯片的封装和测试。
2. 实验内容和要求
1、芯片封装2、传感器测试
3. 参考文献
Fabrication and characterization of a double-heater based MEMSthermal flow sensor，Sensors and Actuators A 193 (2013) 2529
4. 毕业设计（论文）计划
2021.3-2021.4：芯片封装2021.4-2021.5.15：传感器测试2021.5.16-2021.5.20：论文及答辩ppt撰写
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