格栅式MEMS气体微流量传感器的封装测试任务书

 2022-02-14 07:02

全文总字数:370字

1. 毕业设计(论文)的内容和要求

格栅式MEMS气体微流量传感器的封装测试课题工作量要求: 完成三种微流量传感芯片的封装和测试。

2. 实验内容和要求

1、芯片封装2、传感器测试

3. 参考文献

Fabrication and characterization of a double-heater based MEMSthermal flow sensor,Sensors and Actuators A 193 (2013) 2529

4. 毕业设计(论文)计划

2021.3-2021.4:芯片封装2021.4-2021.5.15:传感器测试2021.5.16-2021.5.20:论文及答辩ppt撰写

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