1. 毕业设计（论文）主要内容：
针对龙门式静压气浮双驱曝光机连续动态性能进行系统研究，重点是恒张力控制，高精度定位系统及其控制，行进过程中动态曝光精度控制及其实现途径进行研究。
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
1.恒张力系统及其控制；
2.行进动态过程底板高精度定位；
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3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
2020年2月：课题调研，完成开题报告；
2020年3月：完成恒张力控制；
2020年4月：完成行进动态过程底板和暴光头高精度定位；
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4. 主要参考文献
1. 李陆军，张鸣，胡金春，朱煜，平面静压气浮轴承垂直微冲击的稳定性，清华大学学报（自然科学版）２０１１ 年 第 ５１ 卷 第 ６ 期。
2. Yazhe Li，KaiZhou , Zhen Zhang ，A flow-difference feedback iterationmethod and its application to high-speed aerostatic journal bearings， Tribology International 84 (2015) 132–141
3. K. Erkorkmaz , J.M. Gorniak, D.J. Gordon，Precision machine tool X–Y stage utilizing a planar air bearingarrangement，CIRP Annals - Manufacturing Technology 59(2010) 425–428
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