1. 毕业设计（论文）主要内容：
针对三维龙门式静压气浮双驱动同步曝光机动态性能的总体要求，研究高精度静压气浮结构形式以及优化相关参数；研究静压气浮双驱同步实现模式以及静压气浮与双驱同步协同机制。
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
1.研究高精度静压气浮结构形式；
2.优化高精度静压气浮相关参数；
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3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
2020年2月：完成项目调研和开题报告；
2020年3月：完成静压气浮结构优化和参数优化；
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4. 主要参考文献
1. 李陆军，张鸣，胡金春，朱煜，平面静压气浮轴承垂直微冲击的稳定性，清华大学学报（自然科学版）２０１１ 年 第 ５１ 卷 第 ６ 期。
2. Yazhe Li，KaiZhou , Zhen Zhang ，A flow-difference feedback iterationmethod and its application to high-speed aerostatic journal bearings， Tribology International 84 (2015) 132–141
3. K. Erkorkmaz , J.M. Gorniak, D.J. Gordon，Precision machine tool X–Y stage utilizing a planar air bearingarrangement，CIRP Annals - Manufacturing Technology 59(2010) 425–428
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