1. 1. 毕业设计（论文）的内容、要求、设计方案、规划等
硬质薄膜常被用来作为高速钢和硬质合金表面的耐磨涂层。目前只有少量文献涉及到掺Si薄膜的成分、结构和力学性能的研究，而对于其在水润滑环境中的摩擦磨损机理少有研究。因此本文深入研究Si掺杂对CrCN薄膜的结构和性能的影响规律。研究内容：1、CrSiCN薄膜的制备工艺，采用磁控溅射的方法制备CrSiCN薄膜，研究不同工艺参数对CrSiCN薄膜组成成分的影响。2、CrSiCN薄膜的水润滑摩擦学特性的研究，利用摩擦试验机测量CrSiCN薄膜与小球对磨的摩擦系数，用光学显微镜观察其磨痕，并通过相关公式计算磨损率，研究CrSiCN薄膜的水润滑摩擦学特性。
研究内容：1、掌握制备CrSiCN薄膜的方法和工艺参数，说明不同工艺参数对薄膜结构的影响规律。2、CrSiCN薄膜在水润滑条件下的磨损机制，探讨CrSiCN薄膜的水润滑摩擦学特性随实验条件的变化规律，以及不同的组成结构对CrSiCN薄膜水润滑摩擦学性能的影响。
其研究成果将拓宽水润滑技术用薄膜的种类和设计思路，提高我国绿色摩擦学的研究水平。编写论文，达到要求字数。
2. 参考文献（不低于12篇）
[1]张广安,王立平,刘千喜,薛群基.CrN复合薄膜的结构和摩擦磨损性能研究.摩擦学学报,2011,02(1),181-186.
[2]X.Wu,M.Suzuki,T.Ohana,A.Tanaka,CharacteristicsandtribologicalpropertiesinwaterofSi DLCcoatings, DiamondRelatedMaterials,2008,17,7-12.
[3]M.Vila,J.M.Carrapichano,J.R.Gomes,S.S.Camargo,Jr,C.A.Achete.R.F.Silva,Ultra-highperformanceofDLC-coatedSi3N4ringsformechanicalseals, Wear2008,265;940-944.
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