基于微振动的粉末包覆原子层沉积装置设计任务书

 2021-08-22 23:25:52

1. 毕业设计（论文）主要内容：

  1. 粉末包覆原子层沉积技术现状与装置结构；

  2. 基于微振动的粉末包覆原子层沉积装置设计及三维工程图绘制；

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2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

  1. 查阅不少于15篇相关资料，其中英文文献不少于5篇，完成开题报告；

  2. 完成不少于5000字的相关英文文献翻译；

  3. 完成粉末包覆原子层沉积技术发展现状、现有装备结构及产能扩大化路线调研；

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    3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

    1. 第1-3周 查阅相关文献资料，完成外文资料翻译及开题报告；

    2. 第4-5周 掌握基于微振动的粉末包覆原子层沉积装置的总体设计方案；

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      4. 主要参考文献

      [1] 李爱东.原子层沉积技术——原理及其应用[M].北京：科学出版社.2016.06

      [2] 肖祥正.真空设计手册[M].北京：国防工业出版社.2006.05

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