一种新型的压电式MEMS麦克风的设计与仿真任务书

 2022-01-09 06:01

全文总字数:942字

1. 毕业设计(论文)主要内容:

压电式MEMS麦克风是一种新型的MEMS产品,其利用集成在薄膜硅材表面的压电材料进行能量转换。当有声波信号输入时,声波信号引起空气振动,导致薄膜产生形变并带动压电材质产生形变,压电材质在物理特性改变时产生电信号进行输出,当薄膜受到连续气流压迫时,与之对应产生连续的电信号。

相较于传统电容式MEMS 麦克风和驻极体式麦克风,压电式MEMS麦克风具备了响应速度更快,防尘防水能力极佳,结构简化,具有极高的可靠性和更好的信噪比等优点。在这种背景下,拟设计一种新型的压电式MEMS 麦克风,并对其进行一定条件下的仿真。

2. 毕业设计(论文)主要任务及要求

1. 完成参考文献的查阅与检索,要求25篇以上(其中英文文献不少于8篇)

2. 完成一篇英文文献的翻译,内容与选题相关。

3. 撰写开题报告,详细合理地设计各任务完成时间节点。

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3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排

时间

工 作 内 容

2020.1.16之前

搜集并学习相关论文和专利,完成文献综述撰写。

2020.2.1~2020.2.29

学习COMSOL和MEMS 软件的仿真运用;撰写开题报告,整理论文提纲。

2020.3.1~2020.3.31

研究并设计一种新型的压电式MEMS麦克风的结构,不断进行仿真和设计修改。

2020.4.1~2020.4.30

对新型压电式MEMS麦克风进行相关仿真,并不断测试修改模型,直至达到相关标准,对其原理加以研究。

2020.5.1~2020.5.30

完成毕业论文的撰写,做好毕业答辩的准备。

4. 主要参考文献

[1]张福学.压电学[M].北京:国防工业出版社,1984.

[2]杜功焕.声学基础[M].南京:南京大学出版社,2012.

[3]徐芝纶.弹性力学[M].北京:高等教育出版社,2006.

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