1. 毕业设计(论文)主要目标:
了解AlN薄膜的结构、性质、应用等;
学习PLD法制备薄膜的实验操作;
学习XRD技术、椭圆偏振法表征AlN薄膜物相的原理;
剩余内容已隐藏,您需要先支付后才能查看该篇文章全部内容!
2. 毕业设计(论文)主要内容:
AlN薄膜的背景知识:晶体结构、性质、制备方法和应用;
PLD原理和表征方法;
AlN薄膜的制备;
剩余内容已隐藏,您需要先支付后才能查看该篇文章全部内容!
3. 主要参考文献
[1]Qingming Chen. Fabrication and Characterization ofAlN Thin Film Bulk Acoustic WaveResonator[D].Pittsburgh:University of Pittsburgh,2006.1-154.
[2]李小换. 和 薄膜结构及其性能的研究[D].北京:北京工业大学,2003:1-70.
[3]杨克涛,陈光辉.薄膜的研究进展[J].山东陶瓷,2005,28(1):17-20.
剩余内容已隐藏,您需要先支付 10元 才能查看该篇文章全部内容!立即支付
以上是毕业论文任务书,课题毕业论文、开题报告、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。