1. 毕业设计（论文）主要目标：
了解AlN薄膜的结构、性质、应用等；
学习PLD法制备薄膜的实验操作；
学习XRD技术、椭圆偏振法表征AlN薄膜物相的原理；
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2. 毕业设计（论文）主要内容：
AlN薄膜的背景知识：晶体结构、性质、制备方法和应用；
PLD原理和表征方法；
AlN薄膜的制备；
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3. 主要参考文献
[1]Qingming Chen. Fabrication and Characterization ofAlN Thin Film Bulk Acoustic WaveResonator[D].Pittsburgh:University of Pittsburgh,2006.1-154.
[2]李小换. 和 薄膜结构及其性能的研究[D].北京：北京工业大学，2003：1-70.
[3]杨克涛，陈光辉.薄膜的研究进展[J].山东陶瓷，2005，28(1)：17-20.
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