1. 毕业设计（论文）主要目标：
1 了解XRD的原理
2 熟悉用XRD分析薄膜的一般步骤
3 能够独立分析简单的半导体薄膜
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2. 毕业设计（论文）主要内容：
1 xrd的原理
2 xrd在表征单层膜和多层膜时的区别
3 xrd 如何表征薄膜的参数
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3. 主要参考文献
[1] 潘红雅.《半导体超晶格的X射线双晶衍射研究》[D].长春理工大学, 2006.
[2] 符贵山.《X射线运动学理论及其在半导体外延材料分析中的应用》 [D].北京工业大学, 2003.
[3] 冯淦 朱建军 沈晓明 张宝顺 赵德刚 王玉田 杨辉 梁骏吾 .《GaN外延膜厚度的X射线双晶衍射测量》[J].《中国科学G辑》, 2003(2).
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