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1. 毕业设计（论文）的内容和要求
基于伯努利原理的超声喷雾热沉积系统在半导体薄膜研究中，薄膜的厚度可以用SEM截面图测量，但SEM测试仪器昂贵。
如何寻找一种更加简单的直接低成本又方便的测量薄膜厚度的方法，于是我们就想到了使用迈克尔逊干涉仪这种校内实验室常见的光学仪器。
在迈克尔逊实验中根据明暗条纹环数与角度的变化关系，从而计算出薄膜的厚度和折射率。
2. 实验内容和要求
实验内容：完成测量设备的调研，实验材料的调研与购买，实验仪器的搭建与调试，毕业设计的撰写。
要求：利用寒假时间熟悉相关理论知识，做好知识储备。
按照实验进度安排要求及时完成各时间段的实验内容。
3. 参考文献
[1]. Deura, M., et al., Kinetic analysis of face-centered-cubic Ti1?xAlxN film deposition by chemical vapor deposition. Materials Science An overview. Materials Today: Proceedings, 2020(prepublish).
[11]. 么忆权, 基于并口通信的多晶薄膜沉积装置. 微计算机信息, 2010. 26(23): 第166-168页.
[12]. 关奎之等, JGP-600型磁控溅射薄膜沉积装置的研制. 真空, 1997(01): 第34-37页.
4. 毕业设计（论文）计划
起讫日期 设计（论文）各阶段工作内容2020.12.28-2021.2.20 查找相关的文献资料，了解本装置设计技术有关理论，完成开题报告。
2021.2.21-2021.3.15 完成系统功能模块划分与电路设计，开始购置需要的各个硬件装置与电子元件。
2021.3.16-2021.4.30 完成毕业设计装置的制作。
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