MPCVD法沉积碳素薄膜的研究任务书

 2021-08-19 11:08

1. 毕业设计(论文)主要目标:

探索用微波等离子体化学气相沉积法沉积出金刚石、石墨烯碳素薄膜,并分析出具体沉积条件,沉积原理,特征等。

对微波等离子体化学气相沉积的原理和进一步应用提供基础。

2. 毕业设计(论文)主要内容:

研究微波等离子体化学气相沉积法的原理,利用微波等离子炉以甲烷、氢气、氦气等气体在基片上沉积碳素薄膜,进行表征分析,多次实验后根据实验数据分析沉积金刚石,石墨烯沉积条件,特征,可对在实验室设备条件下沉积高质量的薄膜进行探索。

3. 主要参考文献

[1] 赵志岩, 邓福铭, 卢学军,等. CVD金刚石涂层刀具研究与应用前景[J]. 硬质合金, 2009, 26(4):246-251.

[2] 杜康. MPCVD金刚石膜的制备及其应用的研究[D]. 广州大学, 2010.

[3] 高克林, 詹如娟. 低温等离子体沉积类金刚石薄膜[J]. 核聚变与等离子体物理, 1991(3):189-192.

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