磁控溅射制备CdO基透明导电薄膜及其性能研究任务书

 2023-09-26 09:09

1. 毕业设计(论文)的内容和要求

磁控溅射是二十世纪70年代快速发展起来的一种高速且低温溅射镀膜法,该种溅射方法已被广泛应用于光学镀膜、表面处理等领域。磁控溅射具有高速溅射、基板低温、 低损伤等优点。利用磁控溅射方法制备氧化镉薄膜,并研究薄膜的光学性质、导电性能,获得制备最优性能薄膜的优化参数组合。

2. 实验内容和要求

任务内容:(1)整理思路,设计论文大纲;

(2)查阅资料,确定论文的有关料;

(3)将有关知识进行整合,着手写论文;

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3. 参考文献

[1]K.Badeker,Ann,Tranparent conducting CdO obtained by thermal oxidation of sputtered Cd films,Phys.(LeiPzig),1907,22,749.

[2]张品.磁控溅射法沉积透明导电CdO薄膜的性能优化[D]. 浙江大学, 2007.

[3]周强.有机衬底上沉积禁带宽度可调的CdO透明导电薄膜[D]. 浙江大学, 2006.

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4. 毕业设计(论文)计划

第一阶段: 选题,完成选题报表,填写论文任务书;(2月份);

第二阶段:收集、查阅与设计相关的资料,拟定论文框架,完成论文初稿(3月上旬);

第三阶段:接受论文中期检查(3月中旬);

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