全文总字数：2013字
1. 毕业设计（论文）主要内容：
目前光刻胶材料是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。之前有文献报道，可以使用正丙醇锆通过超精细聚合制造出含硅掺杂的氧化锆双光子光敏材料。受此启发，钛与锆属于同一族元素，常用来一起掺杂增强材料性能。同时，正丙醇钛与正丙醇锆具有相同的分子构型，因此氧化钛光刻胶材料是否也能够用双光子聚合的方法制造出来。
（1）文献调研，了解国内外相关研究概况和发展趋势，了解选题与社会、健康、安全、成本以及环境等因素的关系；
（2）研究双光子聚合法合成含硅掺杂的氧化锆的反应机理，了解各种反应材料的选择，尤其是光引发剂的选择条件。
2. 毕业设计（论文）主要任务及要求
（1） 查阅不少于15篇关于光刻胶材料成型工艺以及双光子聚合材料成型的方法的相关资料，英文文献不少于5篇，了解国内外相关研究概况和发展趋势，了解选题对社会、健康、安全、成本以及环境等的影响，完成开题报告。
（2） 选取合适的反应材料，了解正丙醇钛与之反应的成键的可行性。确定详细的实验步骤。
（3） 选择合适的光引发剂，探索合成工艺，用光子聚合的方法合成出氧化钛光刻胶材料。
3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排
（1） 第1-4周 上传开题报告，查阅相关文献，确定实验的研究方案，确定各项研究细节。
（2） 第5-12周 按照实验方案具体实施实验研究，用双光子聚合的方法，选取合适的光引发剂，完成对正丙醇钛制备氧化钛光刻胶材料的工艺的探索。
（3） 第13-14周 探讨不同摩尔比的MAPTMS与TiO折射率的变化规律，完成英文文献的翻译。
4. 主要参考文献
（1）BrigoLaura,Schmidt Johanna Eva Maria,Gandin Alessandro,Michieli Niccolò,ColomboPaolo,Brusatin Giovanna. 3D Nanofabrication of SiOC Ceramic Structures.[J].Advanced science (Weinheim, Baden-Wurttemberg, Germany),2018,5(12).
（2）ZhiquanLi,Peng Hu,Junzhe Zhu,Yajun Gao,Xiang Xiong,Ren Liu. Conjugated Carbazole‐BasedSchiff Bases as Photoinitiators: From Facile Synthesis to Efficient Two‐PhotonPolymerization[J]. Journal of Polymer Science Part A: PolymerChemistry,2018,56(23).
（3）GengQiang,Wang Dien,Chen Pengfei,Chen Shih-Chi. Ultrafast multi-focus 3-Dnano-fabrication based on two-photon polymerization.[J]. Naturescommunications, 2019,10(1).
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