AlGaN半导体薄膜光学性质的研究任务书

 2021-11-07 09:11

1. 毕业设计(论文)主要目标:

通过软件实验设计模拟,研究AlGaN薄膜在其他工艺参数相同的情况下,改变外延膜铝组分和入射波长,而引起的反射率,折射率,透射率的变化,找到AlGaN薄膜光学参数变化的规律,并在此规律基础上做出优化。

2. 毕业设计(论文)主要内容:

  1. Al组分对AlGaN薄膜反射率的影响。

    在相同情况下(薄膜厚度,温度,入射波长相同),测量计算Al组分分别为0,30%,65%,100%的AlGaN外延薄膜的反射率。

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    3. 主要参考文献

    [1][1].张东,赵琰,宋世巍,李昱材,王健,毕孝国,高靖,王春生.石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究[J].光谱学与光谱分析,2018,38(09):2672-2675.

    [2].李雪,魏彦峰,龚海梅,方家熊.纤锌矿GaN薄膜光学性质的研究[J].光子学报,2007(02):304-307.

    [3]徐招弟 周新木 徐鹏.半导体薄膜及外延层材料摇摆曲线的动态模拟[J].化工时代.2005,19(09):26-28

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