1. 毕业设计(论文)主要目标:
通过软件实验设计模拟,研究AlGaN薄膜在其他工艺参数相同的情况下,改变外延膜铝组分和入射波长,而引起的反射率,折射率,透射率的变化,找到AlGaN薄膜光学参数变化的规律,并在此规律基础上做出优化。
2. 毕业设计(论文)主要内容:
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Al组分对AlGaN薄膜反射率的影响。
在相同情况下(薄膜厚度,温度,入射波长相同),测量计算Al组分分别为0,30%,65%,100%的AlGaN外延薄膜的反射率。剩余内容已隐藏,您需要先支付后才能查看该篇文章全部内容!3. 主要参考文献
[1][1].张东,赵琰,宋世巍,李昱材,王健,毕孝国,高靖,王春生.石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究[J].光谱学与光谱分析,2018,38(09):2672-2675.
[2].李雪,魏彦峰,龚海梅,方家熊.纤锌矿GaN薄膜光学性质的研究[J].光子学报,2007(02):304-307.
[3]徐招弟 周新木 徐鹏.半导体薄膜及外延层材料摇摆曲线的动态模拟[J].化工时代.2005,19(09):26-28
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