1. 毕业设计（论文）的内容和要求
熟悉射频磁控溅射法，并能在Si（100）衬底上生长MgO薄膜。
能够通过X射线衍射（XRD）分析溅射气压、Ar分压以及Si衬底对薄膜择优取向的影响。
能够使用原子力显微镜（AFM）观察、分析薄膜的表面形貌。
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2. 实验内容和要求
课题主要内容：
1． 熟悉射频磁控溅射法。
2． 采用射频磁控溅射法，在Si（100）衬底上生长MgO薄膜。
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3. 参考文献
[1] Mueller A H, Suvorova N A, Irene E A. . Appl Phys, 2003,93:3866-3872.
[2] Kaya M, Atici Y. Super lattices and Micro structures, 2004,35:35-44.
[3] Hamid N A, Shamsudin N F, See K W. Materials Research Innovations, 2010,13:379-381.
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4. 毕业设计（论文）计划
第一阶段 收集、查阅与论文相关的资料，进行毕业论文的初步写作（1月份－2月份）
第二阶段 通过实验测量数据（3月份－4月上旬）
第三阶段 整理与分析实验结果（4月中旬）
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